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CIF勻膠機(jī)

簡要描述:CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SC1
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-08-28
  • 訪  問  量:3092

詳細(xì)介紹

價(jià)格區(qū)間5萬-10萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工

CIF勻膠機(jī)

 

CIF勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速,旋涂均勻,操作簡單,結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用,為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué),硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)

采用閉環(huán)控制伺服電機(jī),數(shù)字式增速信號(hào)反饋,速勻準(zhǔn)確,壽命長,保證勻膠均勻。

5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置),可選配10個(gè)可編程程序,每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段,多100個(gè)階段。

內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

多重安全保護(hù)

電磁安全開關(guān),蓋子打開卡盤停止,保證安全;

蓋子自鎖功能,防止飛片蓋傷人;

雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。

一機(jī)兩用,根據(jù)不同樣品可選真空盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器苛刻條件下能正常運(yùn)行。

適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)

 

型號(hào)

轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度

勻膠時(shí)間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000S

圓片Φ5-Φ100,方片大100x100

310x260x250


勻膠機(jī)使用注意事項(xiàng):
(1)在旋轉(zhuǎn)涂膠中,轉(zhuǎn)速是最重要的因素之一,通常決定了最終的膠膜厚度。較小的速度變化就能導(dǎo)致膠膜厚度較大的變化。旋轉(zhuǎn)速度過高或過低都會(huì)使基片涂膠失敗。因此提供勻膠轉(zhuǎn)速用的電機(jī)控制精度要求非常高。
 
(2)加速度對(duì)涂膠的均勻性有著重要的影響。在涂膠環(huán)節(jié)的一部分,膠液開始變干,準(zhǔn)確地控制加速度十分重要,膠液中50%的溶劑在加速過程中汽化蒸發(fā)。旋轉(zhuǎn)過程提供了一個(gè)離心力(向外)給膠液,加速度提供給膠液扭曲力,此力使膠液均勻通過和覆蓋基本表面。最終形成的膠膜均勻性與適當(dāng)?shù)募铀俣让芮邢嚓P(guān)。
 
(3)涂膠工藝受到腔體環(huán)境(排風(fēng)、氣流等)的影響。在涂膠過程中膠液的揮發(fā)烘干速度取決于液體本身的自然屬性,也受到涂膠過程中晶圓片周圍空氣情況的影響。涂膠過程中特別重要的一點(diǎn)是涂膠腔體內(nèi)氣體的流動(dòng)和與之相關(guān)的亂流要減到最小。通過腔體的排風(fēng)系統(tǒng)可以減少不希望的亂流,這樣可以使液體凝固速度減緩,同時(shí)使對(duì)外界溫濕度的敏感性減少。
 
(4)膠液的準(zhǔn)確供應(yīng)對(duì)提高成品率及降低成本有很重要的意義。膠液不足造成無法覆蓋全片,太多則對(duì)膠膜質(zhì)量有影響且造成浪費(fèi)。
 

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